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申请/专利权人：淮安捷泰新能源科技有限公司
摘要：本实用新型公开了一种大尺寸硅片承载装置，属于硅片加工技术领域，包括花篮底座、花篮侧杆、花篮底杆和花篮底杆中部支撑杆，所述花篮底座包括两个高度相等且相对设置的花篮上底板和花篮下底板，所述花篮上底板和花篮下底板两侧之间通过花篮侧杆连接，所述花篮上底板和花篮下底板在靠近底部位置处通过花篮底杆连接，所述花篮底杆沿其长度方向设置若干根花篮底杆中部支撑杆。本实用新型的有益效果是：设置花篮底座、花篮侧杆、花篮底杆和花篮底杆中部支撑杆能有效减少硅片转运过程中因自身重力影响导致硅片变形，同时能更加契合自动化点位，减少因硅片在花篮内部不整齐造成的自动化宕机，从而减少对工厂产能、合格率以及生产效率方面的影响。
主权项：1.一种大尺寸硅片承载装置，其特征在于，包括花篮底座、花篮侧杆、花篮底杆和花篮底杆中部支撑杆，所述花篮底座包括两个高度相等且相对设置的花篮上底板和花篮下底板，所述花篮上底板和花篮下底板两侧之间通过花篮侧杆连接，所述花篮上底板和花篮下底板在靠近底部位置处通过花篮底杆连接，所述花篮底杆沿其长度方向设置若干根花篮底杆中部支撑杆。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 淮安捷泰新能源科技有限公司 一种大尺寸硅片承载装置
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