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申请/专利权人：江苏第三代半导体研究院有限公司
摘要：本实用新型公开了一种X射线形貌仪用测试台，包括置物台、安装架以及驱动组件；置物台用于安装待测的目标产品；安装架用于支撑所述置物台，且与所述置物台可转动连接；驱动组件用于驱动所述置物台转动；其中，所述置物台能够相对于所述安装架转动并锁止在多个位置，以调整所述目标产品的测试角度。本实用新型的X射线形貌仪用测试台用于调节目标产品的测试角度。
主权项：1.一种X射线形貌仪用测试台，其特征在于，所述测试台包括：置物台1，用于安装待测的目标产品；安装架2，用于支撑所述置物台1，且与所述置物台1可转动连接；驱动组件3，用于驱动所述置物台1转动；其中，所述置物台1能够相对于所述安装架2转动并锁止在多个位置，以调整所述目标产品的测试角度。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江苏第三代半导体研究院有限公司 一种X射线形貌仪用测试台
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