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申请/专利权人：山西大同大学
摘要：一种辅助太赫兹成像的高灵敏3D位移传感器。该传感器由固定层包括柔性衬底层与其上的金属开口谐振环和位移指示层包括柔性衬底层与其上的金属指示线两部分组成。借助这种独特的双层结构，通过测量位移传感器太赫兹透射波谷变化所对应金属指示线位置的变化量，便可实现对位移的高灵敏度测量，进而对太赫兹成像过程中目标体位置进行精确标定、特别是对太赫兹缺陷成像检测、成像目标体边缘轮廓的精确表征，及成像目标体微运动测量提供有效助力。相比于成熟的商业位移传感器和激光位移传感器，该太赫兹位移传感器具有结构紧凑、制备工艺简单、灵敏度高、可弯曲等特点，可为将来高精度、微型化以及分布式传感系统的实现提供一定的参考。
主权项：1.一种辅助太赫兹成像的高灵敏3D位移传感器，其特征在于：该位移传感器结构包括固定层和位移指示层两部分；固定层是由柔性衬底层与其表面上蒸镀的C形金属开口谐振环构成，位移指示层是由柔性衬底层与其表面上蒸镀的金属指示线构成。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 山西大同大学 一种辅助太赫兹成像的高灵敏3D位移传感器
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