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申请/专利权人：江苏派莱特光电科技有限公司

摘要：本发明涉及真空镀膜机技术领域，具体为真空镀膜机用真空测量装置，包括真空镀膜腔室和安装架，所述真空镀膜腔室的一侧通过螺栓固定设置有安装架，且真空镀膜腔室的一侧还设置有进气管，所述进气管的一端设置有导气管。本发明通过在过滤块内部一侧设置的微孔滤网对气体中的固体颗粒进行过滤处理，再配合过滤块内部的活性炭颗粒对气体中的油分和异味物质，通过利用过滤块对气体进行滤气处理，可以更好地保护测量组件，确保其正常运行并提供准确的真空度测量，配合干燥架内部的吸附剂和除湿剂将空气中的湿气和油分吸附，从而降低进入测量组件内部的气体含有水分和油分，确保测量组件的正常运行以及测量结果的准确性。

主权项：1.真空镀膜机用真空测量装置，包括真空镀膜腔室1和安装架2，所述真空镀膜腔室1的一侧通过螺栓固定设置有安装架2，其特征在于：所述真空镀膜腔室1的一侧还设置有进气管3，所述进气管3的一端设置有导气管4，且导气管4的一端设置有连接组件；所述安装架2内部的一侧设置有滤气组件，且滤气组件的一侧与连接组件的一端连接，所述安装架2内部的另一侧还设置有测量组件，且测量组件通过送气管27与滤气组件的另一侧连接；所述滤气组件包括滤气架12，所述安装架2内部的一侧固定设置有滤气架12，且滤气架12的内部设置有滤气通道13，所述安装架2的内部还设置有转动槽14，且转动槽14的内部转动设置有换料架15，所述换料架15的外周面固定设置有若干个限位架16，且若干个限位架16的内部均滑动设置有过滤块17，所述安装架2内部的上方固定设置有伺服马达，且伺服马达的输出轴一端与换料架15的顶部固定连接，所述转动槽14的内部固定设置有伺服电缸18，且两个伺服电缸18的驱动端均固定设置有电磁铁，若干个所述过滤块17的一侧均固定设置有吸引片，所述滤气通道13的内部固定设置有密封架19，且密封架19的内部与过滤块17的表面滑动连接，所述连接槽内壁的两侧均设置有与过滤块17相配合的通口20，且两个通口20分别与滤气通道13的内部以及安装架2的内部连通；所述过滤块17内部的一侧固定设置有微孔滤网21，且过滤块17的内部还填充设置有活性炭颗粒；所述滤气架12内部的一侧还设置有干燥腔22，且干燥腔22的内部活动设置有干燥架23，所述干燥架23的内部填充设置有吸附剂和除湿剂。

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