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申请/专利权人：苏州大学;北京石墨烯研究院
摘要：本发明公开了一种原位氮掺杂石墨烯蓝宝石晶圆及其制备方法,包括以下步骤：S1、将经过清洗和干燥预处理后的蓝宝石晶圆置于管式炉，压强抽至设定压强；S2、升温至第一温度，然后通入氩气，继续升温至第二温度，通入氢气，继续升温至生长温度并稳定5‑60分钟，引入生长碳源和生长氮源，保持一定的生长时间；S3、待生长结束后，停止引入生长碳源和生长氮源，在氩气和氢气环境下降温，在降温过程中，先停止通入氢气，后停止通入氩气；S4、进行破真空处理，得到原位氮掺杂石墨烯蓝宝石晶圆。本发明能够制备得到高品质的原位氮掺石墨烯蓝宝石晶圆，具有均匀性高、平整度好的优点，且通过反应条件改变能够调控氮掺杂种类。
主权项：1.一种原位氮掺杂石墨烯蓝宝石晶圆的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：S1、将经过清洗和干燥预处理后的蓝宝石晶圆置于管式炉，压强抽至设定压强；S2、升温至第一温度，然后通入氩气，继续升温至第二温度，通入氢气，继续升温至生长温度并稳定5-60分钟，引入生长碳源和生长氮源，保持一定的生长时间；S3、待生长结束后，停止引入生长碳源和生长氮源，在氩气和氢气环境下降温，在降温过程中，先停止通入氢气，后停止通入氩气；S4、进行破真空处理，得到原位氮掺杂石墨烯蓝宝石晶圆。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州大学 北京石墨烯研究院 一种原位氮掺杂石墨烯蓝宝石晶圆及其制备方法
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