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申请/专利权人：株式会社岛津制作所
摘要：本发明提供一种截止阀、真空泵系统和真空泵，能够在发生大气空气进入时，减少大气空气的流入。截止阀1是一种相对于真空泵120的排气口16布置在下游侧的截止阀，且包括：阀座47、阀体32和受压部35。阀体32相对于阀座47布置在下游侧，并且构造成能够移动以接触阀座47或与阀座分离。受压部35相对于阀体32布置在下游侧，并且构造成通过接收流回到阀座47的气体的压力而能够移动到阀座47。阀体32连接到受压部35，随着受压部35向阀座47的移动，阀体32向阀座47移动。
主权项：1.一种截止阀，相对于真空泵的排气口布置在下游侧，其特征在于，包括：阀座；阀体，相对于所述阀座布置在所述下游侧，且构造成能够移动以接触所述阀座或与所述阀座分离；以及受压部，相对于所述阀体布置在所述下游侧，且构造成通过接收流回到所述阀座的气体的压力而能够移动到所述阀座，其中，所述阀体连接到所述受压部，随着所述受压部向所述阀座的移动，所述阀体向所述阀座移动。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 株式会社岛津制作所 截止阀、真空泵系统和真空泵
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