龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：卡尔蔡司SMT有限责任公司
摘要：一种折射投射镜头PO，其通过工作波长在超过280nm的紫外线范围中的电磁辐射将配置在投射镜头的物平面OS中的图案成像到投射镜头的像平面IS中，所述折射投射镜头包含多个透镜元件，这些透镜元件沿光轴OA配置在物平面OS和像平面IS之间，并且实施为使得布置在物平面中的图案能够利用透镜元件成像到像平面中，其中光阑平面BE适于附接孔径光阑AS，光阑平面位于物平面和像平面之间，成像的主射线在光阑平面中与光轴OA相交。投射镜头设计为物场半径至少为52mm的大场透镜，并且具有成像比例为1:1且相对于光阑平面BE镜像对称的结构。
主权项：1.一种折射投射镜头PO，其通过工作波长在大于280nm的紫外线范围内的电磁辐射将配置在投射镜头的物平面OS中的图案成像到投射镜头的像平面IS，该折射投射镜头PO包含：多个透镜元件，所述透镜元件沿光轴OA配置在该物平面OS和该像平面IS之间，并且实施为使得配置在该物平面的图案PAT能够通过所述透镜元件成像到该像平面，其中一光阑平面BE适于附接位于该物平面和该像平面之间的孔径光阑AS，一成像主射线在该光阑平面中与该光轴OA相交；其特征在于：该投射镜头设计成物场半径OBH至少为52mm的大场透镜，并具有成像比例为1:1且相对于该光阑平面BE成镜像对称的结构。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 卡尔蔡司SMT有限责任公司 投射镜头、投射曝光装置以及投射曝光方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号