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一种压力传感器芯体及压力传感器 

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申请/专利权人:松诺盟科技有限公司

摘要:本申请提供了一种压力传感器芯体及压力传感器,该芯体包括:基体;所述基体表面依次设置有聚酰亚胺层、应变电阻层、焊盘层和保护层;所述聚酰亚胺层的绝缘耐压强度为1000VAC~1500VAC。本申请中聚酰亚胺层的介质绝缘强度高且弹性模量小,设置在基体和应变电阻层之间,能够起到良好的绝缘效果;同时,对应变电阻层的变形感压基本无影响,在进一步提升芯体绝缘性能的同时,还能保持较高的灵敏度和精度。

主权项:1.一种压力传感器芯体,其特征在于,包括:基体;所述基体表面依次设置有聚酰亚胺层、应变电阻层、焊盘层和保护层;所述聚酰亚胺层的绝缘耐压强度为1000VAC~1500VAC。

全文数据:

权利要求:

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