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申请/专利权人：上海量羲技术有限公司

摘要：本发明公开了一种可分区控温的无液氦极低温制冷机装置，包括样品架组件、第一K级冷盘组件，第二K级冷盘组件，第一mK冷盘，第二mK冷盘，极低温制冷模组和制冷机，其中：第一K级冷盘组件、第二K级冷盘组件、第一mK冷盘和第二mK冷盘从上到下依次间隔预定的距离，并全部设置在真空腔中；各级冷盘之间均通过低温金属支撑柱连接。

主权项：1.一种可分区控温的无液氦极低温制冷机装置，包括样品架组件、第一K级冷盘，第二K级冷盘，第一mK冷盘，第二mK冷盘，极低温制冷模组和制冷机，其特征在于：第一K级冷盘、第二K级冷盘、第一mK冷盘和第二mK冷盘从上到下依次间隔预定的距离，并全部设置在真空腔中；各级冷盘之间均通过低温金属支撑柱连接；极低温制冷模组包括氦气进气管道，氦气抽气管道和极低温制冷混合室；所述可分区控温的无液氦极低温制冷机装置，还包括样品架，超导磁体环绕在样品架的安装部周围，超导磁体安装在真空腔底部，超导磁体为中空的圆环状结构，通过多根第二支撑导热柱与第二K级冷盘固定热连接；其中第二mK冷盘通过第一支撑导热柱连接至第一mK冷盘；极低温制冷混合室安装在第二mK冷盘上；极低温制冷混合室上部，通过氦气进气管道和氦气抽气管道与真空腔外部的循环系统相连通；第二mK冷盘的中心开有一个安装孔，第二mK冷盘在该安装孔两侧对称安装有2个Z轴压电位移台和2个导热柱，其中Z轴压电位移台可在驱动电压作用下调节高度，其上端通过绝热垫片由螺丝固定有样品架，样品架包括位于底部中间的盛放部和盛放部上部两侧的安装部，所述盛放部上部与安装部通过冷屏进行竖直连接；盛放部两侧的安装部底面设有两个圆锥形凹槽，用于与导热柱顶部的圆锥部进行接触，并进行可靠热传导；样品架盛放部两侧的安装部安装在绝热垫片上，通过螺丝固定在Z轴压电位移台上，当Z轴压电位移台处于收缩状态时，导热柱顶部的锥形部位嵌入样品架安装部底面凹槽中；当Z轴压电位移台处于伸长状态时，样品架安装部与导热柱脱离，断开样本架与第二mK冷盘的热连接；所述可分区控温的无液氦极低温制冷机装置，还包括第一热辐射屏蔽层和第二热辐射屏蔽层，第一热辐射屏蔽层安装在第一K级冷盘的下盘面，与第一K级冷盘下盘面保持热连接；第二热辐射屏蔽层为有两层台阶筒状结构，安装在第一mK冷盘下盘面，并与第一mK冷盘保持热连接；所述可分区控温的无液氦极低温制冷机装置，超导磁体处于冷屏蔽腔室内，冷屏蔽腔室由第一热辐射屏蔽层和第一K级冷盘形成外层热辐射屏蔽，冷屏蔽腔室由第二热辐射屏蔽层和第一mK冷盘形成内层热辐射屏蔽；所述可分区控温的无液氦极低温制冷机装置，其中：第二热辐射屏蔽层和第一mK冷盘形成样品工作区。

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