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申请/专利权人：珠海迈时光电科技有限公司
摘要：本发明涉及微透镜面形误差测试技术领域，公开了一种微透镜环带状面形误差的测试方法及装置，本发明的测试方法包括以下步骤：利用入射光照射微透镜光学表面；利用探测器获取微透镜的远场光斑能量分布；获取不同环带误差的远场光斑能量分布的分界线；根据所述远场光斑能量分布以及所述分界线，获得环带误差峰谷值和环带误差方向信息。本发明的测试方法可以快速、准确得到微透镜的环带误差，能够为微透镜加工过程中误差值的补偿、加工精度的提升以及成品的筛选提供帮助。
主权项：1.一种微透镜环带状面形误差的测试方法，其特征在于，包括以下步骤：利用入射光照射微透镜光学表面；利用探测器获取所述微透镜的远场光斑的能量分布；获取不同环带误差的远场光斑能量分布的分界线；根据所述远场光斑能量分布以及所述分界线，获得环带误差峰谷值和环带误差方向信息。
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百度查询： 珠海迈时光电科技有限公司 微透镜环带状面形误差的测试方法及装置
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