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一种增强稳定性的超势垒整流器 

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申请/专利权人:成都蓉矽半导体有限公司

摘要:本实用新型属于半导体器件技术领域,尤其是涉及一种增强稳定性的超势垒整流器,目的是增加器件的可靠性和稳定性,包括背面金属层、导电类型衬底、导电类型外延层、多个掺杂区、栅极介质层、栅电极层、栅极加固层和正面金属层;导电类型外延层设置在导电类型衬底上;导电类型外延层上设置有多个凹槽,每个凹槽内分别设置一个掺杂区;导电类型外延层的顶面设置栅极介质层,栅极介质层上设置栅电极层,栅电极层上设置栅极加固层;超势垒整流器顶部覆盖正面金属层,超势垒整流器底部覆盖背面金属层。本实用新型具体更稳定、器件寿命更长的优点。

主权项:1.一种增强稳定性的超势垒整流器,其特征在于:包括背面金属层301、导电类型衬底101、导电类型外延层102、多个掺杂区、栅极介质层103、栅电极层104、栅极加固层和正面金属层109;所述导电类型外延层102设置在所述导电类型衬底101上;所述导电类型外延层102上设置有多个凹槽,每个凹槽内分别设置一个掺杂区;所述导电类型外延层102的顶面设置栅极介质层103,所述栅极介质层103上设置栅电极层104,栅电极层104上设置栅极加固层;超势垒整流器顶部覆盖正面金属层109,超势垒整流器底部覆盖背面金属层301。

全文数据:

权利要求:

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