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申请/专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司

摘要：本发明提供一种加热灯安装结构及半导体腔室，其中，加热灯安装结构用于将加热灯安装于半导体腔室的腔体上，加热灯安装结构包括固定环、灯座和与灯座对应设置的调节组件，固定环用于固定设置在半导体腔室的腔体上，固定环开设有安装槽，灯座容置于安装槽中，灯座用于与加热灯固定且电连接，以向加热灯提供电能；调节组件与灯座连接，用于调节灯座的倾斜度，进而实现调节加热灯的倾斜度。本发明提供的加热灯安装结构及半导体腔室，能够提高加热灯的轴线与该加热灯所处圆周的圆心的同心度，从而改善加热效果，改善半导体工艺结果。

主权项：1.一种加热灯安装结构，用于将加热灯安装于半导体腔室的腔体上，其特征在于，所述加热灯安装结构包括固定环、灯座和与所述灯座对应设置的调节组件，其中，所述固定环用于固定设置在所述半导体腔室的腔体上，所述固定环开设有安装槽，所述灯座容置于所述安装槽中，所述灯座用于与所述加热灯固定且电连接，以向所述加热灯提供电能；所述调节组件与所述灯座连接，用于调节所述灯座的倾斜度，进而实现调节所述加热灯的倾斜度；所述调节组件包括固定件、转轴和调节部件，其中，所述固定件固定设置在所述安装槽中；所述转轴的两端固定设置于所述安装槽的相对两槽壁上，所述灯座具有贯通孔，所述转轴贯穿所述灯座，且所述灯座可相对所述转轴转动；所述调节部件与所述灯座连接，并与所述固定件可升降的连接，用于通过相对于所述固定件升降，带动所述灯座以所述转轴为轴旋转，来调节所述灯座的倾斜度；所述固定件包括固定框架，所述调节部件包括调节框架、调节螺杆和转动件，其中，所述调节框架套设在所述灯座上，所述固定框架的下边框与所述安装槽的槽底固定连接，并且所述固定框架环绕在所述调节框架的周围，所述调节螺杆贯穿所述固定框架的上边框，并与所述固定框架的上边框螺纹连接，且所述调节螺杆通过所述转动件与所述调节框架可转动的连接；所述调节部件还包括锁紧件，所述锁紧件与所述调节螺杆可升降的连接，并能够与所述固定框架的上边框相抵，用于将所述调节螺杆与所述固定框架的上边框锁紧；所述固定环中开设有沿所述固定环径向设置的容纳空间，所述容纳空间与所述安装槽连通，所述灯座包括电连接件，所述电连接件的第一端用于与所述加热灯的电极接头电连接，所述电连接件的第二端暴露在所述灯座外且容置于所述容纳空间中。

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