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申请/专利权人：株式会社斯库林集团
摘要：本发明提供描绘装置1，其中，壳体6的内部空间60由阻碍气体流通的分隔面54上下分隔。比分隔面54更靠上侧的上部空间61容纳载物台21、描绘头41和载物台移动机构22。基台5设置于比分隔面54更靠下侧的下部空间62。在壳体6的内部空间60的‑Y侧的端部，设置有不存在分隔面54的连通部55。在壳体6的+Y侧的端部设置有：供气口64，供从壳体6的外部向上部空间61供给的气体通过；第一排气口651和第二排气口652，供从上部空间61经由连通部55流入下部空间62的气体排出。由此，能够提高壳体6的内部空间60中的气体流动的均匀性。
主权项：1.一种描绘装置，向基板照射光来描绘图案，其中，具有：载物台，保持基板；描绘头，设置于所述载物台的上方，向所述基板的上表面照射经调制的光；扫描机构，在与所述基板的所述上表面平行的扫描方向上，使所述载物台相对于所述描绘头相对移动；基台，从下侧支撑在上表面安装的所述扫描机构；壳体，在内部空间容纳所述载物台、所述描绘头、所述扫描机构和所述基台，所述壳体的所述内部空间由阻碍气体的流通的分隔面上下分隔，比所述分隔面更靠上侧的上部空间容纳所述载物台、所述描绘头和所述扫描机构，所述基台设置于比所述分隔面更靠下侧的下部空间，在所述扫描方向和垂直于所述扫描方向的宽度方向中的一方向上的、所述壳体的所述内部空间的一侧的端部，设置有不存在所述分隔面的连通部，所述上部空间与所述下部空间经由所述连通部部分连通，在所述一方向上的所述壳体的另一侧的端部，设置有供气口和排气口，所述供气口供从所述壳体的外部向所述上部空间供给的气体通过，所述排气口供从所述上部空间经由所述连通部流入所述下部空间的气体排出。
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