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双面封边冶具 

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申请/专利权人:芯爱科技(南京)有限公司

摘要:一种双面封边冶具,用于对具有层叠结构的基板进行双面封边,该双面封边冶具包括第一载具及第二载具,以将基板夹持于其间。通过同时利用第一载具及第二载具在基板两侧加热基板,可同时对基板两面的进行加工,进而可缩短加工时间,提升产能,且可确保基板两面的加工位置相对应,从而提升加工精准度。

主权项:1.一种双面封边冶具,用于对具有层叠结构的基板进行双面封边,且该双面封边冶具包括:第一载具,具有第一本体及设于该第一本体上的第一加热头;以及第二载具,设于该第一载具上方,且具有第二本体、设于该第二本体上的第二加热头及移动该第二本体的移动机构;其中,该第一加热头与该第二加热头彼此相对向且对位设置,以通过该第一加热头与该第二加热头夹持该基板。

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权利要求:

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