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一种用于外部气相沉积法的活动喷灯 

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摘要:本发明涉及一种用于外部气相沉积法的活动喷灯,包括有喷头体,喷头体上设置喷灯喷口,所述的喷灯喷口沿径向从内向外包括有原料气体喷口和燃料气体喷口,所述的喷灯中部设置原料气体喷口,其特征在于所述的喷灯中部设置的原料气体喷口为活动原料气体喷口,所述的活动原料气体喷口后端与旋转支承机构相联,旋转支承机构驱动活动原料气体喷口缓慢旋转。本发明使整体多层料管结构相对喷灯进行旋转,减少料管与惰性气体喷口或者燃料气体喷口的间隙偏心影响,利用旋转极大地减少粉尘在喷口局部形成粉尘堆积,从而减少结晶,尤其大粉棒沉积后期出现的粉尘堵塞结晶现象,有效减少了喷灯的维修量,提高了喷灯的使用寿命。

主权项:1.一种用于外部气相沉积法的活动喷灯,包括有喷灯体,喷灯体上设置喷灯喷口,所述的喷灯喷口沿径向从内向外包括有原料气体喷口和燃料气体喷口,所述的喷灯中部设置原料气体喷口,其特征在于所述的喷灯中部设置的原料气体喷口为活动原料气体喷口,所述的活动原料气体喷口后端与旋转支承机构相联,旋转支承机构驱动活动原料气体喷口缓慢旋转;所述的喷灯喷口的最外圈设置有气环喷口,所述的气环喷口与温度可调气源相连通。

全文数据:

权利要求:

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