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气相反应设备 

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申请/专利权人:楚赟精工科技(上海)有限公司

摘要:本实用新型提供了一种气相反应设备,包括反应腔室、以及设置于反应腔室内的加热装置和载片装置。本实用新型的所述气相反应设备中,反应腔室设有用于提供化学惰性的隔离气体的进气装置;载片装置设置于加热装置的上方,载片装置内设有从载片装置的中部向载片装置的边缘延伸的导气通道;导气通道的进气端与进气装置在载片装置中部连通,导气通道的出气端围设于载片装置的底部并位于载片装置外壁和加热装置外壁之间,使隔离气体喷出后围绕在加热装置外以减少或阻止工艺气体对加热装置的影响,使得能有效避免工艺气体特别是腐蚀性工艺气体影响加热装置的加热效果。

主权项:1.一种气相反应设备,其特征在于,包括:反应腔室,设有用于提供隔离气体的进气装置,以及设置于所述反应腔室内的加热装置和载片装置;所述载片装置设置于所述加热装置的上方,所述载片装置内设有从所述载片装置的中部向所述载片装置的边缘延伸的导气通道;所述导气通道的进气端与所述进气装置在所述载片装置中部连通,所述导气通道的出气端围设于所述载片装置的底部并位于所述载片装置外侧壁和所述加热装置外侧壁之间,使所述隔离气体喷出后围绕在所述加热装置外以减少或阻止工艺气体对所述加热装置的影响。

全文数据:

权利要求:

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