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申请/专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

摘要：本发明公开了一种压电变形镜的耦合力补偿协同控制方法及其装置，方法包括：建立压电变形镜的系统模型；设计压电变形镜通道间单元驱动器耦合力估计器；利用哈特曼波前传感器测量波前畸变获得波前残差信号；采用波前处理机得到的影响函数矩阵将所述哈特曼波前传感器得到的所述残差信号转化为波前校正器可识别的残差电压信号；根据所述残差电压信号设计基于压电变形镜耦合力估计器的变形镜面形协同控制器。本发明的方案能够通过根据估计的单元驱动器耦合力以及转化后的残差电压信号，控制调整下一轮压电变形镜面形，实现对压电变形镜耦合力补偿与面形精确控制。

主权项：1.一种压电变形镜的耦合力补偿协同控制方法，其特征在于，包括：步骤一、建立压电变形镜模型，所述压电变形镜模型包含若干个单元驱动器；步骤二、在所述压电变形镜模型上设计在所述压电变形镜通道间的所述若干个单元驱动器的耦合力估计器；步骤三、所述压电变形镜产生并输出波前畸变，哈特曼波前传感器测量所述波前畸变获得波前残差信号；步骤四、计算波前处理机生成的影响函数矩阵与所述残差信号的积，可以将所述波前残差转化为波前校正器可识别的残差电压信号；步骤五、在所述压电变形镜模型上根据所述残差电压信号设计耦合力协同控制器，用于对压电变形镜的耦合力进行补偿协同控制；所述若干个单元驱动器可以通过下述公式表征： ；其中，和代表第i个单元驱动器的位置和速度，和分别代表第i个单元驱动器在t时刻的位置的导数和速度的导数；、、分别代表驱动单元系统的三个参数，这三个参数一般为常数；代表第i个驱动单元在t时刻的受力；代表第i个驱动单元在t时刻的电压输入，i表示单元驱动器的个数；所述压电变形镜通道间的所述若干个单元驱动器的耦合力估计器通过下述公式表征： 其中，，代表第i个驱动单元在t时刻的实际速度和估计速度之差，为第i个驱动单元在时刻的速度估计值；是一个辅助状态表达式，为开关函数运算；为第i个驱动单元在时刻的动态误差面，由线性叠加组成；和为力估计器的切换增益常数，满足；为力估计器的开关切换固定增益；为自适应增益在t时刻的估计值，为第i个驱动单元在t时刻所受的耦合力的估计值，它是被实时计算的；所述协同控制器通过下述公式表征： ；其中，代表在时刻的第i个驱动单元的控制量输出值；为第i个驱动单元所受的耦合力的估计值；和为耦合力协同控制器的增益，一般为正常数；和代表第i个单元驱动器间的残差电压信号和相应的导数运算。

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百度查询： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种压电变形镜的耦合力补偿协同控制方法及其装置