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申请/专利权人：南京理工大学
摘要：本发明公开了一种自适应像差校正远场反射式傅里叶叠层成像方法。该方法通过二轴精密位移台控制相机扫描采集对应子孔径位置的6张低分辨子图，并使用拍摄的低分辨图像标定系统孔径形状与大小，以及使用模拟退火算法对子孔径频域位置进行校正，再利用自适应像差校正傅里叶叠层成像重构算法，同时重构物体与系统光瞳函数，实现像差校正。本发明所提出的方法可以解决系统参数误差、系统不稳定性、系统像差等造成成像质量较差的问题，并有效地提升成像效率。
主权项：1.一种自适应像差校正远场反射式傅里叶叠层成像方法，其特征在于，步骤如下：步骤一：利用成像系统扫描采集若干幅已知尺寸的样品的低分辨强度图；步骤二：在非相干光源照明下，对已知尺寸的样品进行成像，利用物像关系，确定成像放大率；步骤三：利用成像放大率与空域位移量确定图像在靶面中相对基准位置的偏移量，通过傅里叶变换位移定理对原始图像进行亚像素配准；步骤四：选择靠近明暗场交界处的低分辨明场图，利用频谱特性，计算得到孔径的大小及形状；步骤五：计算理论子孔径频域对应位置，设置模拟退火算法的搜素范围与搜索步长，从高分辨频谱中取出搜索得到的子孔径频谱，将子孔径频谱转换至空域并计算搜索到的子孔径振幅与实际拍摄图像误差函数，选择误差最小的子孔径位置作为标定结果，初始时，高分辨频谱为靠近明暗场交界处的低分辨明场图的频谱；步骤六：采用结合自适应像差校正的傅里叶叠层成像重构算法，初始化样品与光瞳函数，对其进行更新迭代，当代价函数小于设定阈值时，停止迭代完成重建。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 南京理工大学 自适应像差校正反射式傅里叶叠层成像方法
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