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申请/专利权人：应用材料股份有限公司
摘要：一种用于对由将离子植入到设置在工件上的光刻胶中引起的除气量进行控制的系统及方法。除了其他影响之外，除气量是基于被植入的物质、光刻胶的类型、植入的能量及已经植入的剂量。通过对有效束电流进行控制，可使除气量维持低于预定阈值。通过开发及利用有效束电流、完成剂量及除气速率之间的关系，可更精确地对有效束电流进行控制，以在维持低于预定除气阈值的同时以最高效的方式对工件进行植入。
主权项：1.一种将某一物质的离子植入到涂布有光刻胶材料的工件中以使除气速率维持低于阈值的方法，所述方法包括：确定有效束电流、完成剂量及所述除气速率之间的关系；基于完成剂量而使用所述关系来确定将在所述工件被植入时用于一次或多次通过的有效束电流；在所述一次或多次通过期间使用所述有效束电流植入所述离子；以及重复多次所述使用及所述植入。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 应用材料股份有限公司 实时光刻胶除气控制系统及方法
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