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申请/专利权人：罗门哈斯电子材料CMP控股股份有限公司
摘要：一种用于化学机械抛光的抛光垫，其包括具有顶部抛光表面的多孔抛光层；位于顶部抛光表面对面的子垫，该子垫具有底部子垫表面；以及窗口，用于将信号波通过所述抛光垫传输到待抛光的衬底并通过该抛光垫返回以进行端点检测，该窗口具有顶部窗口表面、底部窗口表面和侧边缘，其中该顶部窗口表面从该顶部抛光表面凹陷，该底部窗口表面与该底部子垫表面基本上共面，该窗口从该底部子垫表面延伸到该顶部窗口表面，并且侧边缘与抛光材料和子垫材料接触，并且其中该窗口是无孔的。
主权项：1.一种用于化学机械抛光的抛光垫，其包括具有顶部抛光表面的多孔抛光层，位于所述顶部抛光表面对面的子垫，所述子垫具有底部子垫表面，以及窗口，用于将信号波通过所述抛光垫传输到待抛光的衬底，并通过所述抛光垫返回以进行端点检测，所述窗口具有顶部窗口表面、底部窗口表面和侧边缘，其中所述顶部窗口表面从所述顶部抛光表面凹陷，所述底部窗口表面与所述底部子垫表面基本上共面，所述窗口从所述底部子垫表面延伸到所述顶部窗口表面，并且所述侧边缘与所述抛光材料和所述子垫材料接触，并且其中所述窗口是无孔的。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 罗门哈斯电子材料CMP控股股份有限公司 具有端点窗口的抛光垫
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