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申请/专利权人：哈尔滨工业大学
摘要：本发明一种用于KDP晶体DPN水溶修复形貌演变模拟的表面微纳缺陷三维形貌演变模拟方法，涉及微纳制造领域，为解决现有方法无法将KDP元件表面微纳缺陷三维形貌转化为DPN水溶修复形貌演变模拟模型初始值进行微纳缺陷三维形貌演变模拟的问题。包括：步骤一、采集KDP光学元件表面微纳缺陷三维云图；步骤二、对三维云图进行预处理，转换导出为一维数组；步骤三、对一维数组进行零点偏移和归一化缩放；步骤四、对一维数组进行二维像素矩阵映射变换；步骤五、重写为灰度图像后导入模拟模型，对每个二维像素点进行坐标映射；步骤六、进行反演变换实现三维云图的重建；步骤七、进行初始化并求解，得到以缺陷实际形貌为初始值的DPN水溶修复形貌演变过程。
主权项：1.一种用于KDP晶体DPN水溶修复形貌演变模拟的表面微纳缺陷三维形貌演变模拟方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤一、设定AFM探针扫描参数，采集KDP光学元件表面微纳缺陷三维云图；步骤二、对KDP光学元件表面微纳缺陷三维云图进行预处理，然后通过ASCII码转换导出为一维数组；步骤三、根据ASCII码转换后数据范围对一维数组进行零点偏移和归一化缩放；步骤四、根据探针扫描参数对零点偏移和归一化缩放后的一维数组进行二维像素矩阵映射变换；步骤五、将二维像素矩阵重写为灰度图像后导入DPN水溶修复形貌演变模拟模型，根据探针扫描参数对每个二维像素点进行坐标映射；步骤六、对进行坐标映射后的二维像素点根据数据范围进行反演变换，实现KDP光学元件表面微纳缺陷三维云图的重建；步骤七、利用重建后的KDP光学元件表面微纳缺陷三维云图对DPN水溶修复形貌演变模拟模型进行初始化并求解，得到以缺陷实际形貌为初始值的DPN水溶修复形貌演变过程。
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百度查询： 哈尔滨工业大学 一种用于KDP晶体DPN水溶修复形貌演变模拟的表面微纳缺陷三维形貌演变模拟方法
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