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申请/专利权人：中国科学院合肥物质科学研究院
摘要：本实用新型公开了一种用于工业化真空离子镀膜机的工件旋转装置，包括公转盘所述公转盘的下方安装有位于真空腔体内的同步轮，同步轮的外周面设置有水冷磁流体密封件。本实用新型结构简单，通过将水冷磁流体密封件应用于同步轮的外周面，可起到高真空环境下的动密封的效果，同时在盖子的作用下，保护公转部分不被溅射污染，通过防护罩的设置可保护公转盘下面的自转装置不被溅射过程污染，其次在滚轮组件的协助下带动公转盘转动，从而有效减少转动阻力，实现低扭矩下的可控转，并利用F橡胶密封圈，聚四氟乙烯外绝缘件和聚四氟乙烯外绝缘帽实现旋转工件装置与工业化真空离子镀膜装备腔体的密封和绝缘。
主权项：1.一种用于工业化真空离子镀膜机的工件旋转装置，包括公转盘5，其特征在于，所述公转盘5的下方安装有位于真空腔体内的同步轮14，同步轮14的外周面设置有水冷磁流体密封件13，用于起到冷却同步轮14以及高真空环境下的动密封作用，同步轮14的外周面安装有带动公转盘5旋转的旋转套体7。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学院合肥物质科学研究院 一种用于工业化真空离子镀膜机的工件旋转装置
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