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一种三氯氢硅合成液提质系统 

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申请/专利权人:四川永祥新能源有限公司

摘要:本实用新型公开了一种三氯氢硅合成液提质系统,涉及多晶硅生产技术领域,包括三氯氢硅合成炉、硅粉过滤器、洗涤塔、冷凝组件、脱高沸塔Ⅰ、树脂柱和脱高沸塔Ⅱ;所述三氯氢硅合成炉、硅粉过滤器、洗涤塔、冷凝组件依次连接,冷凝组件出口管路通过三个不同的支管分别连接至所述脱高沸塔Ⅰ、树脂柱和脱高沸塔Ⅱ进口,所述脱高沸塔Ⅰ顶端出口通过管路连接至所述树脂柱进口,树脂柱出口管路和脱高沸塔Ⅱ出口管路均连接至后端精馏系统。利用脱高沸塔加树脂柱组合,处理三氯氢硅合成液中的杂质,降低杂质含量,使三氯氢硅合成液达到指标要求。另外,当其中一个脱高沸塔需要检修时,可利用另外一个脱高沸塔和树脂柱继续除杂工作。

主权项:1.一种三氯氢硅合成液提质系统,其特征在于,包括三氯氢硅合成炉(1)、硅粉过滤器(2)、洗涤塔(3)、冷凝组件(4)、脱高沸塔Ⅰ(5)、树脂柱(6)和脱高沸塔Ⅱ(7);所述三氯氢硅合成炉(1)、硅粉过滤器(2)、洗涤塔(3)、冷凝组件(4)依次连接,冷凝组件(4)出口管路通过三个不同的支管分别连接至所述脱高沸塔Ⅰ(5)、树脂柱(6)和脱高沸塔Ⅱ(7)进口,所述脱高沸塔Ⅰ(5)顶端出口通过管路连接至所述树脂柱(6)进口,树脂柱(6)出口管路和脱高沸塔Ⅱ(7)出口管路均连接至后端精馏系统。

全文数据:

权利要求:

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