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申请/专利权人：深圳市奥普斯等离子体科技有限公司
摘要：本实用新型涉及一种用于等离子体处理设备的气体分流器，分流支管，横向排布于分流器的气体传输管上，且与气体传输管连通；引流装置，转动连接于分流支管管口的内部，用于对引流装置的封口及改变气体横向流通路径，所述引流装置上设置有在气体横向流通路径的基础上，改变气体纵向流通路径的引流组件。本等离子处理设备分流器的分流支管上设置有可改变流向及对分流支管启闭的圆形盖板，流入腔体内的等离子气体会通过摆动圆形盖板实现不同方向的流通，横向流通的过程中，会配合圆形盖板上的呈定角展开的分流片进行纵向扩散，有效的缩短等离子气体布满腔体的时间，间接的加快了等离子处理设备对工件处理的进程。
主权项：1.一种用于等离子体处理设备的气体分流器，其特征在于，包括：分流支管（1），横向排布于分流器的气体传输管上，且与气体传输管连通；引流装置（2），转动连接于分流支管（1）管口的内部，用于对引流装置（2）的启闭及改变气体横向流通路径，所述引流装置（2）上设置有在气体横向流通路径的基础上，改变气体纵向流通路径的引流组件；传动箱（3），安装于分流器气体传输管的底侧，且与分流支管（1）位置对应，所述传动箱（3）内设置有对引流装置（2）传动的传动组件（5），所述传动箱（3）的一端设置有对传动组件（5）驱动的气缸（4）。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 深圳市奥普斯等离子体科技有限公司 一种用于等离子体处理设备的气体分流器
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