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申请/专利权人：横店集团东磁股份有限公司
摘要：本实用新型公开了属于硅片烘干技术领域的一种槽式硅片烘干装置，包括烘干槽，烘干槽的内部设有内槽，内槽与烘干槽之间设有空气流道，烘干槽的底部连接有电机，电机的输出端上连接有位于空气流道内部的叶轮，内槽的底部设有密集的通气孔，空气流道的内部设有两根位于内槽两侧的电加热棒，烘干槽的上端设有若干个排气孔，烘干槽的上方铰接有槽盖，槽盖的底面上连接有风管，风管上设有密集的吹气孔。本实用新型在槽盖的底面上设置了风管，风管与氮气气源连接，通过吹气孔向下垂直吹风，增加了内部的空气循环，从而可以避免清洗液残留在花篮上，提高硅片的良品率。
主权项：1.一种槽式硅片烘干装置，包括烘干槽，其特征在于：烘干槽的内部设有内槽，内槽与烘干槽之间设有空气流道，烘干槽的底部连接有电机，电机的输出端上连接有位于空气流道内部的叶轮，内槽的底部设有密集的通气孔，空气流道的内部设有两根位于内槽两侧的电加热棒，烘干槽的上端设有若干个排气孔，烘干槽的上方铰接有槽盖，槽盖的底面上连接有风管，风管上设有密集的吹气孔，风管为E形结构，吹气孔设置在三根横管上；内槽的底部安装有若干个垫块，垫块的上方设有定位槽。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 横店集团东磁股份有限公司 一种槽式硅片烘干装置
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