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申请/专利权人：佛山市海光智能科技有限公司
摘要：本实用新型涉及MPCVD腔体的技术领域，特别是一种MPCVD设备带水冷装置的舱门结构，包括：固定底座、活动舱门、连接部件和锁紧组件；所述固定底座的一端设有管口，且所述固定底座通过所述连接部件铰接所述活动舱门；所述活动舱门用于打开或盖合所述固定底座，所述活动舱门朝向所述固定底座的板面延伸设有柱塞，所述柱塞用于封堵所述管口；所述柱塞的内部设有冷却水腔；所述活动舱门的上下两端分别设有进水口和回水口，所述进水口和所述回水口分别与所述冷却水腔相通；所述锁紧组件用于将所述活动舱门锁紧于所述固定底座，解决现有MPCVD腔体存在取料等待时间过长和由于温度过高导致操作人员受伤等问题。
主权项：1.一种MPCVD设备带水冷装置的舱门结构，其特征在于，包括：固定底座、活动舱门、连接部件和锁紧组件；所述固定底座的一端设有管口，且所述固定底座通过所述连接部件铰接所述活动舱门；所述活动舱门用于打开或盖合所述固定底座，所述活动舱门朝向所述固定底座的板面延伸设有柱塞，所述柱塞用于封堵所述管口；所述柱塞的内部设有冷却水腔；所述活动舱门的上下两端分别设有进水口和回水口，所述进水口和所述回水口分别与所述冷却水腔相通；所述锁紧组件用于将所述活动舱门锁紧于所述固定底座。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 佛山市海光智能科技有限公司 一种MPCVD设备带水冷装置的舱门结构
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