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申请/专利权人：晶科能源(上饶)有限公司;晶科能源(海宁)有限公司
摘要：本申请涉及一种太阳能电池及其激光加工装置。太阳能电池激光加工装置包括激光发生器、光束分光器以及扫描聚焦系统，激光发生器用于发射激光光束；光束分光器用于接收激光光束并将激光光束分为多束子激光光束；扫描聚焦系统用于接收多束子激光光束，在待加工基板上形成多个沿第一方向排列的激光光斑图形；每一激光光斑图形包括至少两个子激光光斑，每一子激光光斑配置为由一束子激光光束扫描形成。本申请的太阳能电池及其激光加工装置，激光光斑图形由两个及以上尺寸更小的子激光光斑拼接形成，减少边缘虚化面积，改善加工效果，可以收窄激光光斑尺寸与太阳能电池的细栅宽度接近，减少激光对电池片的损伤面积，提升太阳能电池转换效率与良率。
主权项：1.一种太阳能电池激光加工装置，其特征在于，所述太阳能电池激光加工装置包括：激光发生器，所述激光发生器用于发射激光光束；光束分光器，所述光束分光器用于接收所述激光光束并将所述激光光束分为多束子激光光束；以及扫描聚焦系统，所述扫描聚焦系统用于接收所述光束分光器分束形成的多束子激光光束，在待加工基板上形成多个沿第一方向排列的激光光斑图形；其中，每一所述激光光斑图形包括至少两个子激光光斑，每一所述子激光光斑配置为由一束所述子激光光束扫描形成。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 晶科能源(上饶)有限公司 晶科能源(海宁)有限公司 太阳能电池及其激光加工装置
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