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申请/专利权人：绍兴德汇半导体材料有限公司;浙江德汇电子陶瓷有限公司
摘要：本实用新型涉及治具领域，涉及一种高精度上下菲林对位辅助治具，本实用新型包括：菲林本体、治具和基板，菲林本体包括上菲林和下菲林，下菲林的黑色区内设有四组直角透明线条，黑色区的中部上下设置有两组透明线条，透明线条与直角透明线条的上下边位于同一直线上，下菲林四周设有四组圆环，上菲林设有与圆环同心的圆点，治具包括长治具条和两组短治具条，长治具条一端粘接于下菲林的端面左侧，长治具条贴合直角透明线条的左侧，长治具条另一端粘接于上菲林，短治具条的左侧紧贴长治具条设置并粘接于下菲林的端面上下侧，短治具条贴合透明线条的外侧，基板位于上菲林和下菲林之间，操作简单，使基板曝光后上所蚀刻的图形正反面对位精度高。
主权项：1.一种高精度上下菲林对位辅助治具，其特征在于，包括：菲林本体、治具和基板，所述菲林本体包括上菲林和下菲林，所述下菲林的黑色区内设有四组直角透明线条，所述黑色区的中部上下设置有两组透明线条，所述透明线条与直角透明线条的上下边位于同一直线上，所述直角透明线条构成的长方形区的面积大于所需曝光的基板面积，所述下菲林四周设有四组圆环，所述上菲林设有与圆环同心的圆点，所述治具包括长治具条和两组短治具条，所述长治具条一端粘接于下菲林的端面左侧，长治具条贴合直角透明线条的左侧，长治具条另一端粘接于上菲林，所述短治具条的左侧紧贴长治具条设置并粘接于下菲林的端面上下侧，所述短治具条贴合透明线条的外侧，所述基板位于上菲林和下菲林之间。
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