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纳米压印软模固定装置和纳米压印设备 

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申请/专利权人:歌尔光学科技有限公司

摘要:本发明公开一种纳米压印软模固定装置和纳米压印设备,其中,纳米压印软膜包括压印部、及分设于压印部相对两端的两连接部,纳米压印软模固定装置包括:至少一限位杆组,包括相并行的两限位杆,每一限位杆具有用以供连接部绕接的弧形面;以及两牵引机构,分别与两连接部连接;压印部位于限位杆组的一侧,两牵引机构分别用以将连接部朝限位杆组的另一侧拉伸牵引,以使压印部张紧于限位杆组上。本发明技术方案旨在平整固定纳米压印软模,以提升纳米压印的图形转移质量。

主权项:1.一种纳米压印软模固定装置,纳米压印软膜包括压印部、及分设于所述压印部相对两端的两连接部,其特征在于,所述纳米压印软模固定装置包括:至少一限位杆组,包括相并行的两限位杆,每一限位杆具有用以供所述连接部绕接的弧形面;以及两牵引机构,分别与两所述连接部连接;所述压印部位于所述限位杆组的一侧,两所述牵引机构分别用以将所述连接部朝所述限位杆组的另一侧拉伸牵引,以使所述压印部张紧于所述限位杆组上;所述限位杆为限位圆杆,所述限位圆杆可转动地设置。

全文数据:

权利要求:

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