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申请/专利权人：浙江富同石英新材料有限公司

摘要：本发明涉及石英舟托技术领域，且公开了一种具有耐高温功能的石英舟托及其耐高温方法，包括托架，所述托架的表面固定连接有石英舟，所述石英舟的内壁底部固定连接有凹孔板，所述托架的端部固定连接有支架，所述支架的内壁转动连接有滚球，所述托架的表面固定连接有稳定弹杆。本发明两个托架通过稳定弹杆相互的连接，将石英舟设置在两个托架相互靠近的一端从而提高石英舟在工作时的稳定性，托架进入至扩散炉的内部后对石英舟进行支撑固定，使得扩散炉内部的热量可以充分的进入至石英舟的内部对硅片进行加工，在石英舟的外端设置有挤压部件，利用挤压部件对上石英舟的外端进行挤压，避免石英舟受到高温崩裂。

主权项：1.一种具有耐高温功能的石英舟托，包括托架1，所述托架1的表面固定连接有石英舟3，所述石英舟3的内壁底部固定连接有凹孔板4，所述托架1的端部固定连接有支架5，所述支架5的内壁转动连接有滚球6，所述托架1的表面固定连接有稳定弹杆2，其特征在于，还包括：挤压部件7，所述挤压部件7包括固定杆10，所述固定杆10的端部与托架1的内壁插接，所述固定杆10远离托架1的一端固定连接有圆面块14，所述圆面块14远离固定杆10的一端固定连接有定位杆11，所述定位杆11远离圆面块14的一端固定连接有圆孔杆13，所述圆孔杆13远离定位杆11的一端铰接有弹性杆12；支撑部件8，所述支撑部件8包括连杆20，所述连杆20的端部与固定杆10的表面固定连接，所述连杆20的内壁固定连接有底杆21，所述底杆21的上方设置有受力板22；夹持部件9，所述夹持部件9包括贯穿杆30，所述贯穿杆30与圆孔杆13的内壁固定连接，所述贯穿杆30的下表面套接有半圆架32，所述半圆架32的中心固定连接有弯杆33；所述托架1的数量设置有两个，所述石英舟3位于两个托架1相互靠近的一端，所述稳定弹杆2的端部贯穿托架1且延伸至托架1的外端，所述稳定弹杆2位于石英舟3的上方，所述石英舟3的底部设置有多个凹孔板4；所述挤压部件7包括弹性直角杆19，所述弹性直角杆19与圆面块14的表面固定连接，所述弹性直角杆19远离圆面块14的一端铰接有半圆块18，所述半圆块18的表面固定连接有挤压板17，所述挤压板17远离半圆块18的一端固定连接有接触板16；所述弹性直角杆19的表面套接有中心伸缩杆15，所述中心伸缩杆15与弹性直角杆19为中心对称设置；所述弹性杆12远离圆孔杆13的一端与半圆块18的表面铰接，所述接触板16远离挤压板17的一端与石英舟3的外表面接触，所述接触板16的数量设置有两个，两个所述接触板16以石英舟3为中心对称设置；所述支撑部件8包括限位筒25，所述限位筒25与底杆21的表面固定连接，所述限位筒25的顶部固定连接有滑块24，所述限位筒25的表面固定连接有支撑限位架27，所述底杆21的端部固定连接有十字杆26；所述受力板22的底部开设有限位槽23，所述滑块24的上表面与限位槽23的内壁滑动连接；所述支撑限位架27的顶部与受力板22的底部接触，所述底杆21的数量设置有两个，且两个底杆21以十字杆26为中心对称设置，所述受力板22的顶部与石英舟3的底部接触；所述夹持部件9包括夹持杆31，所述夹持杆31的端部与弯杆33的端部固定连接，所述夹持杆31远离弯杆33的一端固定连接有内侧板36，所述内侧板36的表面固定连接有连接板35；所述连接板35远离内侧板36的一端固定连接有定型板34；所述定型板34远离连接板35的一端与石英舟3的内壁固定连接，所述夹持杆31位于弯杆33远离半圆架32的一端，所述内侧板36远离弯杆33的一端与石英舟3的内壁接触。

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