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光学聚合物膜及其铸造方法 

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申请/专利权人:分子印记公司

摘要:示例性系统构造成将可光固化材料光固化以形成聚合物膜。该系统包括:第一卡盘,其构造成支承第一基本上平面的模具;第二卡盘,其构造成支承第二基本上平面的模具;以及可致动平台,其联接到所述第一卡盘和或所述第二卡盘。所述可致动平台构造成将第一卡盘和或第二卡盘定位成使得第一和第二模具通过间隙分开。该系统还包括传感器装置,其用于获得指示在至少三个位置中的每一个位置处第一和第二模具之间的距离和或第一和第二卡盘之间的压力的测量信息。该系统还包括控制模块,该控制模块构造成基于测量信息来控制第一和第二模具之间的间隙。

主权项:1.一种系统,包括:第一卡盘,其构造成在系统使用期间支承具有第一模具表面的基本上平面的第一模具;第二卡盘,其构造成在系统使用期间支承具有第二模具表面的基本上平面的第二模具,所述第二卡盘的至少一部分与所述第二模具相邻,所述至少一部分对适于使可光固化材料光固化的一种或多种波长的辐射基本上是透明的;可致动平台,其联接到所述第一卡盘和或所述第二卡盘,其中所述可致动平台构造成在系统的使用期间将所述第一卡盘和或所述第二卡盘定位成使得所述第一模具表面和第二模具表面彼此面对并通过间隙分隔开;传感器装置,其包括三个压力传感器,所述压力传感器用于在所述系统的使用期间获得指示施加到设置在第一卡盘和第二卡盘之间的不同位置处的至少三个机械间隔件中的每一个机械间隔件上的压力的测量信息;和通信地耦合到所述可致动平台的控制模块,其中所述控制模块构造成在所述系统的使用期间接收所述测量信息,基于所述测量信息确定在多个位置处所述第一模具和第二模具之间的距离,并基于所述距离来控制所述第一模具表面和第二模具表面之间的间隙。

全文数据:

权利要求:

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