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申请/专利权人：浙江清华柔性电子技术研究院
摘要：本申请涉及一种芯片的空间取向的测量方法、系统、电子装置和存储介质。其中，该方法包括：控制测量头对准承载于载物台上的电路板上的参考位置；以参考位置为位置基准，按照预设测量路径控制测量头与载物台的相对位置，并获取电路板上目标位置区域的图像，其中，目标位置区域至少设置有一个待测芯片；根据目标位置区域的图像，确定待测芯片的空间取向信息。通过本申请，解决了相关技术中在测量芯片的空间取向时需要逐个手动选点测量导致的效率低下的问题，提高了测量芯片的空间取向的效率。
主权项：1.一种芯片的空间取向的测量方法，用于测量在电路板上设置的多个芯片的空间取向，其特征在于包括：控制测量头对准承载于载物台上的所述电路板上的参考位置；以所述参考位置为位置基准，按照预设测量路径控制所述测量头与所述载物台的相对位置，在所述测量头位于能够获取所述电路板上目标位置区域的图像的位置，确定所述测量头相对于所述参考位置的位移信息，并获取所述电路板上目标位置区域的图像，其中，所述目标位置区域至少设置有一个待测芯片；使用预设匹配模板对所述目标位置区域的图像进行空间取向的匹配，获取所述待测芯片的空间取向信息；根据使用所述预设匹配模板在所述目标位置区域的图像中匹配到的匹配区域的中心坐标，以及所述测量头相对于所述参考位置的位移信息，确定所述待测芯片的位置信息，其中，所述匹配区域在所述待测芯片上的位置信息是预先标定的。
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权利要求：
百度查询： 浙江清华柔性电子技术研究院 芯片的空间取向的测量方法、系统、电子装置和存储介质
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