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申请/专利权人：镭神技术(深圳)有限公司
摘要：本申请涉及一种防变形检测夹具。用于对半导体芯片进行老化测试，防变形检测夹具包括：承载机构，承载机构用于承载半导体芯片；压紧机构，压紧机构用于与半导体芯片抵接，以使半导体芯片夹置在压紧机构和承载机构之间；及检测机构，检测机构包括设置在压紧机构上并具有弹性的加电探测件和检测探测件，加电探测件用于对半导体芯片加电，检测探测件用于检测半导体芯片的电压和电阻。由此可以防止在压紧机构与半导体芯片之间抵压力增幅较大的情况下，避免弹性力增幅较大而使得加电探针和检测探针与半导体芯片之间产生较大的压力，防止加电探针和检测探针在大压力作用下产生损坏，从而提高防变形检测夹具的稳定性和可靠性。
主权项：1.一种防变形检测夹具，用于对半导体芯片进行老化测试，其特征在于，所述防变形检测夹具包括：承载机构，所述承载机构用于承载半导体芯片；压紧机构，所述压紧机构用于与半导体芯片抵接，以使半导体芯片夹置在所述压紧机构和所述承载机构之间；及检测机构，所述检测机构包括设置在所述压紧机构上并具有弹性的加电探测件和检测探测件，所述加电探测件用于对半导体芯片加电，所述检测探测件用于检测半导体芯片的电压和电阻。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 镭神技术(深圳)有限公司 防变形检测夹具
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