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申请/专利权人：杭州大和热磁电子有限公司
摘要：本发明公开了一种双通道控温系统，涉及控温设备技术领域，旨在解决不同加工腔需要多台控温设备对加工腔进行控温导致功耗大和成本高的问题，包括：包括高温制冷模块和低温制冷模块，高温制冷模块包括第二换热器，高温制冷模块通过第二换热器连接有高温循环模块；低温制冷模块包括第四换热器和第五换热器，低温制冷模块通过第五换热器连接有低温循环模块，低温制冷模块通过第四换热器连接高温制冷模块。本发明提出的一种双通道控温系统，同时提供两路控温通道，一路通道提供低温循环介质，一路提供中高温循环介质，当加工腔需要高温或低温时，可选择相应温度的通道连通加工腔，控温范围更广。
主权项：1.一种双通道控温系统，其特征在于，包括高温制冷模块（100）和低温制冷模块（200），高温制冷模块（100）包括第二换热器（108），高温制冷模块（100）通过第二换热器（108）连接有高温循环模块（300）；低温制冷模块（200）包括第四换热器（207）和第五换热器（212），低温制冷模块（200）通过第五换热器（212）连接有低温循环模块（400），低温制冷模块（200）通过第四换热器（207）连接高温制冷模块（100）。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 杭州大和热磁电子有限公司 一种双通道控温系统
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