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申请/专利权人：江苏晟驰微电子有限公司
摘要：本发明公开了一种自平衡式抗静电晶圆载具，本发明涉及晶圆载具技术领域，包括撑板、一号动杆、撑底、放置盒和平衡模块，所述撑板的顶部安装有一号动杆，所述一号动杆的输出端通过转环安装有撑底，所述撑底的顶部安装有放置盒，所述放置盒为中间分裂移动式，所述撑板的顶部安装有平衡模块，所述放置盒的内壁安装有一号抗静电块。本发明通过安装有左偏移状态时集成电路处理板控制一号动杆启动，同时水平传感器继续检测实时偏移状态数据与偏移数据库进行对比，直至水平传感器回复正常状态，右偏移状态时集成电路处理板控制二号动杆启动，同时水平传感器继续检测实时偏移状态数据与偏移数据库进行对比，直至水平传感器回复正常状态。
主权项：1.一种自平衡式抗静电晶圆载具，包括撑板（1）、一号动杆（2）、撑底（3）、放置盒（4）和平衡模块，其特征在于：所述撑板（1）的顶部安装有一号动杆（2），所述一号动杆（2）的输出端通过转环安装有撑底（3），所述撑底（3）的顶部安装有放置盒（4），所述放置盒（4）为中间分裂移动式，所述撑板（1）的顶部安装有平衡模块，所述放置盒（4）的内壁安装有一号抗静电块（9）；所述平衡模块包括二号动杆（35）、水平传感器（6）、控制箱（8），所述二号动杆（35）位于撑板（1）的顶部，且二号动杆（35）的输出端通过转环与撑底（3）的底部连接，水平传感器（6）位于撑底（3）的底部，控制箱（8）位于撑板（1）的顶部，控制箱（8）内安装有集成电路处理板，所述二号动杆（35）与集成电路处理板电性连接，所述一号动杆（2）与集成电路处理板电性连接，所述水平传感器（6）与集成电路处理板电性连接，水平传感器（6）能检测出撑底（3）的实时偏移状态数据，集成电路处理板内置水平传感器（6）偏移数据库。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江苏晟驰微电子有限公司 一种自平衡式抗静电晶圆载具
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