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一种用于对磁阻元件施加大磁场的方法、磁阻元件及其制备方法 

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申请/专利权人:珠海多创科技有限公司

摘要:本发明属于磁传感器技术领域,公开一种用于对磁阻元件施加大磁场的方法、磁阻元件及其制备方法;该用于对磁阻元件施加大磁场的方法包括在基板上制造磁阻元件;在基板上沉积软磁元件,使至少一磁阻子元件中各磁阻子元件靠近软磁元件的边缘位置;对基板施加第一磁场,使至少一磁阻子元件中各磁阻子元件的周围具有第二磁场;第一磁场及第二磁场的磁场方向平行于所述基板,第二磁场的磁场强度大于第一磁场的磁场强度。本发明通过在磁阻元件的侧边沉积软磁元件,使得软磁元件相邻的磁阻元件周围磁场的磁场强度获得加大,降低磁场产生设备所提供磁场的要求,进而降低磁阻元件的制备难度及易于工业化实现。

主权项:1.一种用于对磁阻元件施加大磁场的方法,其特征在于,包括以下步骤:在基板上制造磁阻元件;在所述基板上沉积软磁元件,使所述磁阻元件中至少一磁阻子元件靠近所述软磁元件的边缘位置;对所述基板施加第一磁场,使所述至少一磁阻子元件中各磁阻子元件的周围具有第二磁场;所述第一磁场及所述第二磁场的磁场方向平行于所述基板,所述第二磁场的磁场强度大于所述第一磁场的磁场强度。

全文数据:

权利要求:

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