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申请/专利权人：优志旺电机株式会社
摘要：本发明提供一种紫外光照射装置，能够提高反馈控制性能。紫外光照射装置具备：长条状的准分子灯，具有朝向照射对象物出射紫外光的光出射面；光量传感器，配置于准分子灯的周围，并检测紫外光；及第一反射构件，配置于准分子灯的周围，并与光出射面的长度方向的一部分相对，从光出射面出射的紫外光在第一反射构件反射而入射到光量传感器。
主权项：1.一种紫外光照射装置，其特征在于，具备：长条状的准分子灯，具有朝向照射对象物出射紫外光的光出射面；光量传感器，配置于所述准分子灯的周围，并检测紫外光；及第一反射构件，配置于所述准分子灯的周围，并与所述光出射面的长度方向的一部分相对，从所述光出射面出射的紫外光在所述第一反射构件反射而入射到所述光量传感器。
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