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申请/专利权人：中国科学院高能物理研究所
摘要：本发明涉及密封技术领域，提供一种超高真空密封用垫片、连接机构及超高真空系统，其中，超高真空密封用垫片用于设置于一对连接法兰之间，超高真空密封用垫片包括垫片本体；连接法兰靠近垫片本体的一端设置有密封面，垫片本体的至少一端设置有密封凸起，密封凸起适于与密封面相抵紧，密封凸起沿垫片本体的周向延伸，密封凸起与垫片本体形成一体式结构。如此设置，现有技术中的全金属刀口法兰的刀口背面可以作为上述密封面，密封凸起抵紧于刀口背面，实现超真空密封，在全金属刀口法兰的刀口结构出现损坏时，仅需要更换垫片本体，无需拆换全金属刀口法兰，操作方便，维修成本低，极大地缩短了维修时间，有利于提升设备工作时长。
主权项：1.一种超高真空密封用垫片，其特征在于，适于设置于一对连接法兰之间，所述超高真空密封用垫片包括垫片本体；所述连接法兰靠近所述垫片本体的一端设置有密封面，所述垫片本体的至少一端设置有密封凸起，所述密封凸起适于与所述密封面相抵紧，所述密封凸起沿所述垫片本体的周向延伸，所述密封凸起与所述垫片本体形成一体式结构。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学院高能物理研究所 超高真空密封用垫片、连接机构及超高真空系统
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