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申请/专利权人：中建材浚鑫(桐城)科技有限公司
摘要：本发明公开了一种PECVD减反射膜加工装置及其加工工艺，包括控制机柜和真空泵机组，控制机柜和真空泵机组的顶端设置有放置台，放置台的顶部沿水平横向分别设置有射频等离子体发生器和加热炉体，射频等离子体发生器和加热炉体的中部沿水平横向穿插连接有CVD管式炉，CVD管式炉的一端设置有抽真空机构，放置台的底部设置有用于调节射频等离子体发生器和加热炉体水平横向位置的调节机构，放置台的顶端设置有用于抽真空机构支撑的顶撑机构。本发明通过调节机构的设置之后，使得将工件放入CVD管式炉内之后，即便因为炉体密封振动，造成工件移位，也可以利用调节机构的调节，使得加热炉体的中心部位对准套设在CVD管式炉放置工件的部位。
主权项：1.一种PECVD减反射膜加工装置，包括控制机柜1和真空泵机组2，其特征在于，所述控制机柜1和真空泵机组2的顶端设置有放置台3，所述放置台3的顶部沿水平横向分别设置有射频等离子体发生器4和加热炉体5，所述射频等离子体发生器4和加热炉体5的中部沿水平横向穿插连接有CVD管式炉6，所述CVD管式炉6的一端设置有抽真空机构，所述放置台3的底部设置有用于调节射频等离子体发生器4和加热炉体5水平横向位置的调节机构，所述放置台3的顶端设置有用于抽真空机构支撑的顶撑机构，所述调节机构包括：放置撑板14，所述射频等离子体发生器4和加热炉体5分别设置于多个放置撑板14的顶端，所述放置撑板14的顶部设置有用于射频等离子体发生器4和加热炉体5夹定的包夹件；螺杆调节件，多组所述螺杆调节件设置于放置台3的底端，多组所述螺杆调节件分别用于调节射频等离子体发生器4和加热炉体5的水平横向位置。
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权利要求：
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