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一种CVD制备石墨烯的装置及加料方法 

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申请/专利权人:东华工程科技股份有限公司

摘要:本发明提供了一种CVD制备石墨烯的装置以及一种采用CVD制备石墨烯的装置的加料方法。本发明通过测量反应炉的重量间接测量出反应炉中熔融金属的液位,当反应炉中液位低于设定值时,通过连锁控制程序实现自动补充金属催化剂,从而实现反应炉的安全、连续化生产,装置结构简单、便于实现,方法便捷,更加有利于工业化的推广和应用。本发明通过连锁及顺控实现石墨烯制备炉的自动加料,避免了人工加料对石墨烯反应系统的影响,确保了操作人员的安全性及生产的连续性,有效保证了石墨烯产品的品质。

主权项:1.一种CVD制备石墨烯的装置,其特征在于,包括反应炉、称重传感器、压力平衡罐以及金属催化剂加料装置;所述反应炉上设置有支撑用的支耳、金属催化剂进料口以及碳源气体进料口;所述支耳通过称重传感器与地面或基座相连接;所述金属催化剂加料装置通过压力平衡罐与金属催化剂进料口相连接;所述称重传感器与金属催化剂加料装置之间具有联动控制。

全文数据:

权利要求:

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