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申请/专利权人：横河电机株式会社
摘要：测定装置1具备使电磁波入射到试样50的发生部20、接收在试样50反射的电磁波的接收部30、对发生部20和接收部30进行控制的控制部10。试样50具有电磁波所入射的第一层51和层叠于第一层51的第二层52。控制部10基于从发生部20入射到试样50的电磁波和接收部30所接收的电磁波，检测出第一层51与第二层52之间是否存在第三层53。发生部20以电磁波在第一层51与第三层53之间或者第一层51与第二层52之间的至少一方发生全反射的入射角使电磁波入射。
主权项：1.一种测定装置，其特征在于，具备：发生部，其使作为电磁波的太赫兹波或毫米波的至少一方向具有所层叠的第一层和第二层的试样从所述第一层入射；接收部，其接收在所述试样反射的电磁波；控制部，其对所述发生部和所述接收部进行控制，基于从所述发生部入射到所述试样的电磁波和所述接收部接收的电磁波，检测出在所述第一层与所述第二层之间是否存在空隙即第三层；所述发生部在存在所述第三层的情况下，以所述电磁波在所述第一层与所述第三层之间发生全反射的入射角使所述电磁波入射。
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