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申请/专利权人：株式会社东芝;东芝高新材料公司
摘要：实施方式涉及的氮化硼板的表面处理方法具备第1研磨工序和第2研磨工序。在第1研磨工序中，采用F120以上且F220以下的范围内或#240以上且#320以下的范围内的粒度号的第1研磨构件，研磨氮化硼板的表面。在第2研磨工序中，采用#360以上且#1000以下的范围内的粒度号的第2研磨构件，研磨所述氮化硼板的所述表面。第2研磨工序在第1研磨工序后进行。氮化硼板适合于氮化硅基板的制造方法。在第1研磨工序中，优选第1研磨构件的压紧量在0.2mm以上且1.0mm以下的范围内，加工点速度在80mms以上且180mms以下的范围内。
主权项：1.一种氮化硼板的表面处理方法，其具备下述工序：采用F120以上且F220以下的范围内或#240以上且#320以下的范围内的粒度号的第1研磨构件，研磨氮化硼板的表面的第1研磨工序；和在所述第1研磨工序之后，采用#360以上且#1000以下的范围内的粒度号的第2研磨构件，研磨所述表面的第2研磨工序。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 株式会社东芝 东芝高新材料公司 氮化硼板的表面处理方法、陶瓷烧结体的制造方法以及氮化硼板的制造方法
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