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申请/专利权人：北京中科同志科技股份有限公司;中科同帜半导体(江苏)有限公司
摘要：本实用新型涉及烧结炉技术领域，提供一种真空烧结炉，包括真空烧结炉腔体、至少一个密封组件和至少一个传动组件；所述密封组件设置在所述真空烧结炉腔体的进口端和出口端，所述密封组件用于对所述真空烧结炉腔体进行密封，所述传动组件设置在所述密封组件的外侧。一方面压紧块便于进入斜凹槽内进行压紧，不容易卡死；另一方面保证了压紧块提供足够的压力给密封板，保证了腔体的密封性。
主权项：1.一种真空烧结炉，其特征在于，包括真空烧结炉腔体、至少一个密封组件和至少一个传动组件；所述密封组件设置在所述真空烧结炉腔体的进口端和出口端，所述密封组件用于对所述真空烧结炉腔体进行密封，所述传动组件设置在所述密封组件的外侧，所述真空烧结炉腔体内部下方设置多组套管加热管。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京中科同志科技股份有限公司 中科同帜半导体(江苏)有限公司 一种真空烧结炉
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