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申请/专利权人：苏州茂特斯自动化设备有限公司
摘要：本发明涉及晶圆分拣领域，尤其涉及一种晶圆分拣机及其分拣方法。用于分拣晶粒，所述晶粒搭载于晶圆环固定的晶圆膜上，包括料仓、扩膜组件、塔式转运组件和编带封装组件。其中，料仓内部层叠储存有晶圆环，以及配合设置的将晶圆环从内部取出的夹爪；扩膜组件包括基台，所述基台上设置有扩膜机构和扩膜驱动机构，所述扩膜机构在扩膜驱动机构的带动下进行升降运动将晶圆膜扩膜；塔式转运组件用于单个晶粒依次自扩膜工位至下一工位的转运，包括第一转塔和与其轴线垂直的第二转塔；编带封装组件接收来自塔式转运组件运送的晶粒，进行编带封装。
主权项：1.一种晶圆分拣机，用于分拣晶粒，所述晶粒搭载于晶圆环固定的晶圆膜上，其特征在于，包括：料仓，内部层叠储存有晶圆环，以及配合设置的将晶圆环从内部取出的夹爪；扩膜组件，包括基台，所述基台上设置有扩膜机构和扩膜驱动机构，所述扩膜机构在扩膜驱动机构的带动下进行升降运动将晶圆膜扩膜；塔式转运组件，用于单个晶粒依次自扩膜工位至下一工位的转运，包括第一转塔和与其轴线垂直的第二转塔；编带封装组件，接收来自塔式转运组件运送的晶粒，进行编带封装。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州茂特斯自动化设备有限公司 一种晶圆分拣机及其分拣方法
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