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申请/专利权人：株式会社斯库林集团

摘要：本发明涉及一种定心装置、定心方法及衬底处理装置。提供一种具有优异的设计自由度的定心技术，以及使用所述定心技术的衬底处理装置。本发明中，在衬底支撑部的上表面，由水平面内位于第1基准位置的第1抵接部件、位于第2基准位置的第2抵接部件、及位于第3基准位置的第3抵接部件包围衬底。并且，通过重复所述3个抵接部件的微小移动，一面将与衬底支撑部的中心的距离保持相同，一面逐渐靠近衬底。并且，由所述3个抵接部件夹住衬底，使衬底的中心与衬底支撑部的中心一致。在这种一连串定心之前，以偏心方向与假想线平行的方式调整衬底姿势。

主权项：1.一种定心装置，其特征在于，以依水平姿势载置在衬底支撑部的上表面的圆板状衬底的中心与所述衬底支撑部的中心一致的方式，进行所述衬底支撑部上的所述衬底的定位，且具备：第1抵接部件，在水平面内，从距离所述衬底支撑部的中心长于所述衬底的半径的基准距离的第1基准位置，在朝向所述衬底支撑部的中心的第1水平方向上移动自如；第2抵接部件，在所述水平面内，从在相对于所述衬底支撑部的中心的所述第1抵接部件的相反侧，相对于从所述衬底支撑部的中心朝所述第1水平方向延伸的假想线偏移，且距离所述衬底支撑部的中心所述基准距离的第2基准位置，在与朝向所述衬底支撑部的中心的方向不同且靠近所述衬底的第2水平方向移动自如；第3抵接部件，在所述水平面内，从在相对于所述衬底支撑部的中心的所述第1抵接部件的相反侧，且相对于所述假想线的所述第2抵接部件的相反侧，距离所述衬底支撑部的中心所述基准距离的第3基准位置，在与朝向所述衬底支撑部的中心的方向不同，且靠近所述衬底的第3水平方向移动自如；移动机构，使所述第1抵接部件、所述第2抵接部件及所述第3抵接部件分别在所述第1水平方向、所述第2水平方向及所述第3水平方向上移动；旋转驱动部，使载置着所述衬底的所述衬底支撑部旋转；测量部，测量在所述第1抵接部件、所述第2抵接部件及所述第3抵接部件与所述衬底的端面隔开的状态下载置在所述衬底支撑部的所述衬底的周缘部；及控制部，通过控制所述移动机构及所述旋转驱动部而执行所述定位；且所述控制部具有：偏心信息取得部，基于通过所述测量部测量出的所述衬底的周缘部相关的周缘信息，求得所述衬底的中心从所述衬底支撑部的中心偏心的偏心方向；衬底姿势调整部，通过使所述衬底支撑部旋转，以所述偏心方向与所述假想线平行的方式调整所述衬底的姿势；及移动控制部，在所述偏心方向与所述假想线平行的状态下，以所述第1抵接部件、所述第2抵接部件及所述第3抵接部件与所述衬底支撑部的中心的距离保持相同的方式，重复使所述第1抵接部件、所述第2抵接部件及所述第3抵接部件分别移动第1移动量、第2移动量及第3移动量的微小移动，直到所述第1抵接部件、所述第2抵接部件及所述第3抵接部件对所述衬底的抵接全部完成为止。

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