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申请/专利权人：亚芯半导体材料(江苏)有限公司
摘要：本实用新型涉及靶材生产技术领域，且公开了一种平面靶材校平装置，包括底座，所述底座的顶部固定装配有校平盘，所述底座的顶部固定装配有支撑板，所述支撑板的内腔转动连接有旋转轴，所述校平盘的顶部固定装配有驱动电机，所述驱动电机的动力输出轴固定装配有传动皮带，所述旋转轴的外壁固定装配有固定板。该平面靶材校平装置，通过在校平盘的外壁上开设的放置槽，在需要靶材进行校平的时候，只需要将需要校平的靶材放置到放置槽的内腔中，此时即可在旋转轴旋转并带动碾压校平轮旋转的过程中实现对靶材本身的碾压和校平，避免了一次只能够对一片靶材进行校平的情况，更好地进行靶材的校平工作。
主权项：1.一种平面靶材校平装置，包括底座1，其特征在于：所述底座1的顶部固定装配有校平盘2，所述底座1的顶部固定装配有支撑板3，所述支撑板3的内腔转动连接有旋转轴4，所述校平盘2的顶部固定装配有驱动电机5，所述驱动电机5的动力输出轴固定装配有传动皮带6，所述旋转轴4的外壁固定装配有固定板7，所述固定板7的外壁固定装配有螺纹杆8，所述螺纹杆8的外壁螺纹连接有调节螺帽9，所述螺纹杆8的内腔活动套接有伸缩杆11，所述螺纹杆8的外壁活动套接有限位盘10，所述螺纹杆8的外壁活动套接有驱动簧12，所述伸缩杆11的外壁固定装配有防护板13，所述防护板13的外壁转动连接有碾压校平轮14，所述校平盘2的外壁上开设有放置槽15。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 亚芯半导体材料(江苏)有限公司 一种平面靶材校平装置
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