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申请/专利权人：苏州子山半导体科技有限公司
摘要：本实用新型涉及一种真空腔室狭缝门开关时序控制阀，包含阀体、水平设置在阀体内下端的活塞主轴组件、分别竖直设置在阀体内且位于活塞主轴组件两端上方用于延时启动外部横推气缸伸出及升降气缸回缩的两组活塞部件；所述活塞主轴组件控制升降气缸伸出的一端腔室与控制横推气缸伸出的活塞部件连通；所述活塞主轴组件控制横推气缸缩回的一端与控制升降气缸缩回的活塞部件连通；所述阀体顶面及两侧面设置有的密封组件；本实用新型通过活塞主轴组件与两组活塞部件配合，实现了对狭缝门的开关进行时序控制，将狭缝门的动作分解，减少密封圈的磨损，提高真空环境洁净度，并且既简化了机械结构，优化了空间，降低了成本。
主权项：1.一种真空腔室狭缝门开关时序控制阀，其特征在于：包含阀体、水平设置在阀体内下端沿阀体长度方向放置用于控制外部升降气缸伸出及横推气缸回缩的活塞主轴组件、分别竖直设置在阀体内且位于活塞主轴组件两端上方用于延时启动外部横推气缸伸出及升降气缸回缩的两组活塞部件；所述活塞主轴组件控制升降气缸伸出的一端腔室与控制横推气缸伸出的活塞部件连通；所述活塞主轴组件控制横推气缸缩回的一端与控制升降气缸缩回的活塞部件连通；两组所述活塞部件均包括有下端与活塞主轴组件连通的第一活塞轴组件、下端与第一活塞轴组件一侧连通的第二活塞轴组件；所述阀体顶面及两侧面设置有用于密封两组活塞部件、活塞主轴组件及其相互连通通道避免漏气的密封组件。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州子山半导体科技有限公司 一种真空腔室狭缝门开关时序控制阀
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