龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：东京毅力科创株式会社
摘要：本发明提供热处理装置和热处理方法。本发明的一个方式的热处理装置包括：收纳基片的处理容器；设置于上述处理容器的周围的加热装置；对上述处理容器与上述加热装置之间的空间吹出冷却流体的多个吹出装置；和开闭件，其同时开闭上述多个吹出装置的至少2个以上，与各上述吹出装置对应地形成有隙缝。本发明中，从低温至高温的温度控制性提高。
主权项：1.一种热处理装置，其特征在于，包括：收纳基片的处理容器；设置于所述处理容器的周围的加热装置；对所述处理容器与所述加热装置之间的空间吹出冷却流体的多个吹出装置；开闭件，其同时开闭所述多个吹出装置的至少2个以上，与各所述吹出装置对应地形成有隙缝；驱动部，其使所述开闭件在覆盖所述多个吹出装置的关闭位置与离开所述多个吹出装置的打开位置之间移动；检测所述处理容器内或者所述空间的温度的温度检测装置；和切换小流量模式和大流量模式的控制部，其中，所述小流量模式在使所述开闭件移动到所述关闭位置的状态下基于所述温度来控制所述加热装置，由此，利用基于流量小的冷却流体的冷却和基于所述加热装置的加热来控制所述处理容器内的温度的、高温下的温度控制性提高，所述大流量模式在使所述开闭件移动到所述打开位置的状态下基于所述温度来控制所述加热装置，由此，利用基于流量大的冷却流体的冷却和基于所述加热装置的加热来控制所述处理容器内的温度的、低温下的温度控制性提高。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 东京毅力科创株式会社 热处理装置和热处理方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号