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申请/专利权人：应用材料公司
摘要：于此提供了处理腔室部件及处理腔室部件的制造方法。在一些实施方式中，一种腔室部件包括具有基底平面和至少一个带纹理的表面区域的部件部分主体，其中至少一个带纹理的表面区域包含多个独立表面特征，多个独立表面特征具有相对于基底平面至少45度角度的第一侧。在至少一些实施方式中，带纹理的表面包括无孔隙的多个独立表面特征。
主权项：1.一种用于处理腔室的腔室部件，包含：用于处理腔室的线圈间隔件，所述线圈间隔件具有基底平面和垂直于所述基底平面的至少一个带纹理的表面区域，其中所述至少一个带纹理的表面区域包含多个独立表面特征，所述多个独立表面特征从所述线圈间隔件的外部表面向外延伸且具有第一侧，所述第一侧具有最靠近所述基底平面的线性边缘，所述线性边缘相对于所述基底平面形成45度至75度角度，其中当所述线圈间隔件安装在所述处理腔室中时所述基底平面被配置为平行于所述处理腔室的处理容积的垂直外屏蔽件，并且其中所述线圈间隔件的所述至少一个带纹理的表面区域是在较宽的基底平面与较窄的顶平面之间的弯曲外部表面。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 应用材料公司 带纹理的处理腔室部件及其制造方法
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