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申请/专利权人：株式会社ISC
摘要：提供了一种为了检查被检查器件而配置于检查装置与被检查器件之间的导电薄片。导电薄片包括沿垂直方向积层的第1薄片与第2薄片。第1薄片包括垂直方向的多个第1弹性导电部、以及使多个第1弹性导电部在水平方向上隔开并且绝缘的第1弹性绝缘部。至少一个第1弹性导电部具有相对于第1弹性绝缘部沿垂直方向突出的突出部。第2薄片包括垂直方向的多个第2弹性导电部以及使多个第2弹性导电部在水平方向上隔开且绝缘的第2弹性绝缘部。至少一个第2弹性导电部具有相对于第2弹性绝缘部沿垂直方向凹陷的凹陷部，以使第1弹性导电部的突出部在垂直方向上嵌合于至少一个第2弹性导电部。
主权项：1.一种导电薄片，被配置于检查装置与被检查器件之间，所述导电薄片包括：第1薄片，所述第1薄片包括垂直方向的多个第1弹性导电部、以及使所述多个第1弹性导电部在水平方向上隔开并且绝缘的第1弹性绝缘部，至少一个所述第1弹性导电部具有相对于所述第1弹性绝缘部沿所述垂直方向突出的突出部；以及第2薄片，所述第2薄片包括所述垂直方向的多个第2弹性导电部、以及使所述多个第2弹性导电部在所述水平方向上隔开并且绝缘的第2弹性绝缘部，至少一个所述第2弹性导电部具有相对于所述第2弹性绝缘部沿所述垂直方向凹陷的凹陷部，以使所述突出部在所述垂直方向上嵌合于所述至少一个第2弹性导电部，其中所述第1弹性绝缘部和所述第2弹性绝缘部由硅橡胶材料构成，其中所述第1弹性导电部包括由所述第1弹性绝缘部的所述硅橡胶材料保持的多个导电性粒子，其中所述第2弹性导电部包括由所述第2弹性绝缘部的所述硅橡胶材料保持的多个导电性粒子，其中所述第1薄片与所述第2薄片沿所述垂直方向积层并且彼此接合，其中在积层的所述第1薄片与所述第2薄片中所述多个第1弹性导电部和所述多个第2弹性导电部接触。
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